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MOCVD AMHS 智能晶圓輸送系統FST-CP-AMHS-100(MO)
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實現LED半導體工廠核心工藝設備MOCVD的晶圓倒片及晶圓傳輸的智能化自動物料搬送系統。由如下設備和子系統組成:MOCVD晶圓倒片機,配置了防塵貨架的AGV,存儲石墨盤的電子貨架,和與MOCVD對接實現上下片功能的周轉單元。
全自動:AGV運載石墨盤根據調度系統指令自動在電子貨架、MO倒片機,周轉單元對接;
電子貨架存儲石墨盤且與中控系統實時通訊監控石墨盤狀態;
MO倒片機實現自動上下石墨盤,Pocket自動清潔,晶圓mapping、晶圓尋邊、Wafer ID讀取、自動上片、可反流程實現自動下片,Wafer ID與盤SN綁定LINK后上傳至MES;
周轉單元與MO設備無縫對接,實現自動上下石墨盤,收集MO腔體狀態信息于中控系統通訊;
高配置:CCD自動檢測、著名品牌工業機器人、全過程伺服控制系統、全過程智能檢測以及智能化操作系統等
人性化:成熟先進的自動控制技術,增加智能監控,智能語音提醒,既滿足工業生產也兼顧人因工程
PVD晶圓自動倒片機FST-SC200W
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應用于LED半導體外延工藝段,可實現晶圓從原料倉至PVD工序之間以及PVD工序到MOCVD工序之間的周轉。主要由Foup交替上料區、Cassette立體倉儲、機器人取放盤機構、機器人自動上下片組成。
使用場景:外延段PVD工藝生產前后
全自動:自動上盤、盤尋邊、晶圓mapping、晶圓尋邊、Wafer ID讀取、自動上片、同步實現自動下片、Wafer ID與盤SN綁定LINK后上傳至MES
高配置:CCD自動檢測、著名品牌工業機器人、全過程伺服控制系統、全過程智能檢測以及智能化操作系統等
高精度:晶圓片上下片重復定位精度可達到±0.1mm,±0.15度以內
人性化:成熟先進的自動控制技術,增加智能監控,智能語音提醒,既滿足工業生產也兼顧人因工程
PSS晶圓自動上片機FST-SC100P-A
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應用于LED半導體PSS制程薄膜段,完成ICP工藝設備之前PSS倒片上片及鎖螺絲等功能。主要由鋁盤立體倉儲、cassette立體倉儲、OCR讀取、機器人自動上片、機器人自動鎖螺絲組成。
使用場景:PSS段ICP工藝生產前
全自動:高度智能信息化系統可實現自動上盤、盤尋邊、晶圓mapping、晶圓尋邊、Wafer ID讀取、自動上片、自動鎖螺絲、盤自動下料、Wafer ID與盤SN綁定LINK后上傳至MES.
高配置:CCD自動檢測、著名品牌工業機器人、全過程伺服控制系統、全過程智能檢測系統.
高精度:晶圓片上下片重復定位精度可達到±0.15mm,±0.2度以內.
人性化:成熟先進的自動控制技術,增加智能監控,智能語音提醒,既滿足工業生產也兼顧人因工程.
PSS晶圓自動下片機FST-SC100P-D
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應用于PSS段ICP工藝生產后,實現PSS下片及解螺絲等功能。主要由鋁盤立體倉儲、cassette立體倉儲、OCR讀取、機器人自動下片、機器人自動解螺絲組成。
使用場景:PSS段ICP工藝生產后。
全自動:高度智能信息化系統可實現盤自動上料、盤尋邊、晶圓mapping、晶圓尋邊、Wafer ID讀取、自動下片、自動拆螺絲、自動下盤、Wafer ID與盤SN綁定LINK后上傳至MES。
高配置:CCD自動檢測、著名品牌工業機器人、全過程伺服控制系統、全過程智能檢測系統。
高精度:晶圓片上下片重復定位精度可達到±0.15mm,±0.2度以內。
人性化:成熟先進的自動控制技術,增加智能監控,智能語音提醒,既滿足工業生產也兼顧人因工程。
晶圓自動挑片機FST-SC100S
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應用于晶圓片在外延段生產完成后入庫,根據工單要求需要把與此工單對應的晶圓片挑選整理匯總,以方便后制程芯片段生產。主要由Foup交替上料區、Cassette立體倉儲、機器人自動上下片組成。
用途:晶圓片在外延段生產完成后入庫,根據工單要求需要把與此工單對應的晶圓片挑選整理匯總,以方便后制程芯片段生產。
全自動:高度智能信息化系統可實現上片Cassette自動掃碼,晶圓mapping、晶圓尋邊、Wafer ID讀取、自動下片、自動生成及打印下片Cassette Label,自動貼附Label,Wafer ID與下片Cassette Label綁定LINK后上傳至MES。
高配置:CCD自動檢測、著名品牌工業機器人、全過程伺服控制系統、全過程智能檢測系統。
高精度:晶圓片上下片重復定位精度可達到±0.1mm,±0.15度以內。
人性化:成熟先進的自動控制技術,增加智能監控,智能語音提醒,既滿足工業生產也兼顧人因工程。
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