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晶圓自動挑片機FST-SC100S

應用于晶圓片在外延段生產完成后入庫,根據工單要求需要把與此工單對應的晶圓片挑選整理匯總,以方便后制程芯片段生產。主要由Foup交替上料區、Cassette立體倉儲、機器人自動上下片組成。
設備參數
類別內容
設備節拍
500pcs/h
產品良率≧99.5%
設備精度晶圓片上下片重復定位精度可達到±0.1mm,±0.15度以內
設備尺寸L2.3m*W1.8m**H2.2m



設備優勢

用途:晶圓片在外延段生產完成后入庫,根據工單要求需要把與此工單對應的晶圓片挑選整理匯總,以方便后制程芯片段生產。

全自動:高度智能信息化系統可實現上片Cassette自動掃碼,晶圓mapping、晶圓尋邊、Wafer ID讀取、自動下片、自動生成及打印下片Cassette Label,自動貼附Label,Wafer ID與下片Cassette Label綁定LINK后上傳至MES。

高配置:CCD自動檢測、著名品牌工業機器人、全過程伺服控制系統、全過程智能檢測系統。

高精度:晶圓片上下片重復定位精度可達到±0.1mm,±0.15度以內。

人性化:成熟先進的自動控制技術,增加智能監控,智能語音提醒,既滿足工業生產也兼顧人因工程。

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