a级毛片无码专区绯色一区-a级欧美-A级片久久久-A级片欧美-A级片网址-A级片无码

Product Center
產(chǎn)品中心
首頁(yè) > 產(chǎn)品中心> 半導(dǎo)體行業(yè)> MOCVD AMHS 智能晶圓輸送系統(tǒng)FST-CP-AMHS-100(MO)

MOCVD AMHS 智能晶圓輸送系統(tǒng)FST-CP-AMHS-100(MO)

實(shí)現(xiàn)LED半導(dǎo)體工廠核心工藝設(shè)備MOCVD的晶圓倒片及晶圓傳輸?shù)闹悄芑詣?dòng)物料搬送系統(tǒng)。由如下設(shè)備和子系統(tǒng)組成:MOCVD晶圓倒片機(jī),配置了防塵貨架的AGV,存儲(chǔ)石墨盤(pán)的電子貨架,和與MOCVD對(duì)接實(shí)現(xiàn)上下片功能的周轉(zhuǎn)單元。
設(shè)備參數(shù)
類(lèi)別內(nèi)容
設(shè)備節(jié)拍(上片或下片)425pcs/h
產(chǎn)品良率
≥99.9%
設(shè)備精度晶圓片上下片重復(fù)定位精度 可達(dá)到±0.05mm,±0.1度以?xún)?nèi)
MO倒片機(jī)尺寸L4.5m*W2.6m*H2.4m
周轉(zhuǎn)單元尺寸L2.7m*W1.85m*H2.4m
AGV尺寸根據(jù)具體功能定制
電子貨架尺寸根據(jù)具體功能定制


設(shè)備優(yōu)勢(shì)

全自動(dòng):AGV運(yùn)載石墨盤(pán)根據(jù)調(diào)度系統(tǒng)指令自動(dòng)在電子貨架、MO倒片機(jī),周轉(zhuǎn)單元對(duì)接;

電子貨架存儲(chǔ)石墨盤(pán)且與中控系統(tǒng)實(shí)時(shí)通訊監(jiān)控石墨盤(pán)狀態(tài);

MO倒片機(jī)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)上下石墨盤(pán),Pocket自動(dòng)清潔,晶圓mapping、晶圓尋邊、Wafer ID讀取、自動(dòng)上片、可反流程實(shí)現(xiàn)自動(dòng)下片,Wafer ID與盤(pán)SN綁定LINK后上傳至MES;

周轉(zhuǎn)單元與MO設(shè)備無(wú)縫對(duì)接,實(shí)現(xiàn)自動(dòng)上下石墨盤(pán),收集MO腔體狀態(tài)信息于中控系統(tǒng)通訊;

高配置:CCD自動(dòng)檢測(cè)、著名品牌工業(yè)機(jī)器人、全過(guò)程伺服控制系統(tǒng)、全過(guò)程智能檢測(cè)以及智能化操作系統(tǒng)等

人性化:成熟先進(jìn)的自動(dòng)控制技術(shù),增加智能監(jiān)控,智能語(yǔ)音提醒,既滿足工業(yè)生產(chǎn)也兼顧人因工程

在線留言
  • 企業(yè)名稱(chēng):
  • 企業(yè)所屬類(lèi)型:
  • 姓名:
  • 職務(wù):
  • 電話:
  • 郵箱:
  • 詳細(xì)需求描述:
    *了解更多我司產(chǎn)品,請(qǐng)?zhí)顚?xiě)內(nèi)容,如果有合作機(jī)會(huì),我們會(huì)在48小時(shí)內(nèi)主動(dòng)與您取得聯(lián)系,謝謝!
驗(yàn)證碼:
主站蜘蛛池模板: 精品欧美一区视频在线观看 | 日本女一区二 | 国产精品福利在线观 | 日本一区二区三区视频在线 | 99re20久| 国产性一 | 天堂tv亚洲tv日本tv不卡 | 亚洲三级一二三区 | 亚洲已满18点击进入在线观看 | 国产欧美精品区一 | 国产精品综合影院在线观看 | 真人二十三式性视频(动) | 日韩欧美极品在线播放 | 国产嘿嘿嘿视频在线观看 | 欧美一区色 | 在线亚洲欧美日韩每日更新 | 欧美特黄一级大黄录像 | 梦乃爱华作品在线观看播放 | 区二区软件 | 午夜韩国理论片在线观看 | 免费香蕉一区二区在线观看 | 成人国产免费 | 三级黄日本 | 岛国视频在线观看一区二区三区 | 欧美国产国产综合国产精 | 精品成品国色天香卡一卡二卡三 | 国产老色批视频在线观看应用 | 小罗莉极品一线天在线 | 日韩高清不卡免费一二三区视频 | 日本一本二本在线观看 | 国产精品合集一区二区三区 | 成全动漫高清电影好看的电视剧 | 欧美午夜激情免费看 | 国产a国产片国产 | 欧美亚洲视频 | 欧美高清一区 | 91精品国产aⅴ一区二区 | 国产欧美日韩成人 | 欧美亚洲精品第一 | 亚洲成年人在线观看 | 日本三级在线播放线观看免 |