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PSS晶圓自動下片機FST-SC100P-D

應用于PSS段ICP工藝生產后,實現PSS下片及解螺絲等功能。主要由鋁盤立體倉儲、cassette立體倉儲、OCR讀取、機器人自動下片、機器人自動解螺絲組成。
設備參數
類別內容
設備節拍
1600盤/天
產品良率≧99.5%
設備精度晶圓片上下片重復定位精度可達到±0.15mm,±0.2度以內
設備尺寸L3.2m*W2.8m**H2.45m



設備優勢

使用場景:PSS段ICP工藝生產后。

全自動:高度智能信息化系統可實現盤自動上料、盤尋邊、晶圓mapping、晶圓尋邊、Wafer ID讀取、自動下片、自動拆螺絲、自動下盤、Wafer ID與盤SN綁定LINK后上傳至MES。

高配置:CCD自動檢測、著名品牌工業機器人、全過程伺服控制系統、全過程智能檢測系統。

高精度:晶圓片上下片重復定位精度可達到±0.15mm,±0.2度以內。

人性化:成熟先進的自動控制技術,增加智能監控,智能語音提醒,既滿足工業生產也兼顧人因工程。

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