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PSS晶圓自動上片機FST-SC100P-A

應用于LED半導體PSS制程薄膜段,完成ICP工藝設備之前PSS倒片上片及鎖螺絲等功能。主要由鋁盤立體倉儲、cassette立體倉儲、OCR讀取、機器人自動上片、機器人自動鎖螺絲組成。
設備參數
類別內容
設備節拍
850盤/天
產品良率≧99.5%
設備精度晶圓片上下片重復定位精度可達到±0.15mm,±0.2度以內
設備尺寸L3m*W2.7m**H2.45m



設備優勢

使用場景:PSS段ICP工藝生產前

全自動:高度智能信息化系統可實現自動上盤、盤尋邊、晶圓mapping、晶圓尋邊、Wafer ID讀取、自動上片、自動鎖螺絲、盤自動下料、Wafer ID與盤SN綁定LINK后上傳至MES.

高配置:CCD自動檢測、著名品牌工業機器人、全過程伺服控制系統、全過程智能檢測系統.

高精度:晶圓片上下片重復定位精度可達到±0.15mm,±0.2度以內.

人性化:成熟先進的自動控制技術,增加智能監控,智能語音提醒,既滿足工業生產也兼顧人因工程.

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